Süni İntellektlə Gücləndirilmiş Qaz Analitikası ilə Yarıkeçirici İstehsalında İnqilab
Süni İntellektlə İdarə Olunan Qaz Nəzarəti Yarıkeçirici İstehsalını İnqilablaşdırır
Ən müasir qaz analiz sistemləri indi 0.01ppm həssaslıq və 150ms cavab vaxtı əldə edir, atom qat təbəqələmə zamanı real vaxtda proses tənzimləmələrinə imkan verir.
Əsas Texnologiya Üstünlükləri
Proqnozlaşdırıcı Analitika
Maşın öyrənmə modelləri 2.4TB/saat sensor məlumatlarını işləyərək qaz təmizliyi meyllərini 94% dəqiqliklə proqnozlaşdırır.
Çoxlu Qaz Monitorinqi
NH₃, SiH₄ və WF₆ daxil olmaqla 18 qaz növünün eyni vaxtda analizi, qarşılıqlı müdaxilə <0.8%.
İstehsal Təsir Ölçüləri
42% epitaksial böyümə qüsurlarının azaldılması
57% daha sürətli qaz dəyişdirmə dövrləri
0.12s anomaliya aşkarlama gecikməsi
99.98% kütləvi axın nəzarətçisinin sabitliyi
Tətbiq Nümunələri
3D NAND İstehsalı
Əldə edildi 28% real vaxtda SiH₂Cl₂ konsentrasiyasının idarə olunması ilə daha yüksək şaquli yığın vahidliyi.
EUV Litografiyası
H₂O səviyyələrini aşağıda saxladı 0.5ppb fotoresist emalı zamanı, örtük səhvlərini azaldaraq 19%.
Texniki Spesifikasiyalar
Təzyiq diapazonu: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Temperatur tolerantlığı: -70°C ~ 450°C
Kalibrləmə intervalı: 6,000s MTBC
Enerji sərfi: 18W @ 24VDC
Daha ətraflı məlumat üçün aşağıdakı populyar məhsullara Nex-Auto Technology. baxın
| Model | Başlıq | Əlaqə |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Tachometr Modulu | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40-01-02 | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40-01-CN | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40-01-01 | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40M-01-00 | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40-01-00 | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40-03-00 | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40-03-02 | Proximitor Monitoru | Daha çox öyrənmək |
| 3500/40 125808-01 | I/O Modulu | Daha çox öyrənmək |
| 330930-045-02-00 | Standart Uzatma Kabeli | Daha çox öyrənmək |
| 330930-045-02-05 | NSV Uzatma Kabeli | Daha çox öyrənmək |
| 330930-045-03-00 | Uzatma Kabeli | Daha çox öyrənmək |
| 330930-045-03-05 | NSV Uzatma Kabeli | Daha çox öyrənmək |
| 330930-045-00-00 | Standart Uzatma Kabeli | Daha çox öyrənmək |
| 330730-040-02-05 | Uzatma Kabeli | Daha çox öyrənmək |