تحلیل پیش‌بینی

مدل‌های یادگیری ماشین داده‌های حسگری 2.4TB/ساعت را پردازش می‌کنند تا روندهای خلوص گاز را با 94% دقت پیش‌بینی کنند.

نظارت بر چند گاز

تحلیل همزمان 18 گونه گازی شامل NH₃، SiH₄ و WF₆ با تداخل متقابل <0.8%.

42% کاهش در نقص‌های رشد اپیتاکسیال

57% چرخه های تعویض گاز سریعتر

0.12s تاخیر تشخیص ناهنجاری

99.98% ثبات کنترل کننده جریان جرمی

تولید سه بعدی NAND

به دست آورد 28% یکنواختی بالاتر در چیدمان عمودی از طریق کنترل غلظت SiH₂Cl₂ در زمان واقعی.

لیتوگرافی EUV

سطح H₂O را زیر نگه داشت 0.5ppb در حین پردازش فوتورزیست، کاهش خطاهای همپوشانی به 19%.

محدوده فشار: 10⁻⁶ ~ 760 Torr

محدوده دما: -70°C ~ 450°C

فاصله کالیبراسیون: 6,000 ساعت MTBC

مصرف برق: 18W @ 24VDC

برای اطلاعات بیشتر، موارد محبوب زیر را در Nex-Auto Technology. بررسی کنید.