Az AI-vezérelt gázkezelés forradalmasítja a félvezetőgyártást
A legmodernebb gázanalizáló rendszerek most 0,01 ppm érzékenységet érnek el 150 ms válaszidővel, lehetővé téve a valós idejű folyamatkiigazításokat az atomréteg-ülepedés során.
Alapvető Technológiai Előnyök
Prediktív Analitika
A gépi tanulási modellek 2,4 TB/óra szenzoradatokat dolgoznak fel a gáz tisztasági trendjeinek előrejelzésére 94%-os pontossággal.
Többgáz-figyelés
A 18 gázfajta egyidejű elemzése, beleértve az NH₃-t, SiH₄-t és WF₆-ot, kereszt-interferencia <0,8%.
Termelési Hatásmérők
42% az epitaxiális növekedési hibák csökkentése
57% gyorsabb gázváltási ciklusok
0.12s anomália-észlelési késleltetés
99.98% tömegf flow szabályozó stabilitás
Megvalósítási Esettanulmányok
3D NAND gyártás
Megvalósult 28% magasabb függőleges rétegek egységessége a valós idejű SiH₂Cl₂ koncentráció-ellenőrzés révén.
EUV Litográfia
A H₂O szintjét alatt tartotta 0.5ppb a fotorezisztens feldolgozás során a fedési hibák csökkentése érdekében 19%.
Műszaki adatok
Nyomástartomány: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Hőmérséklet-tűrés: -70°C ~ 450°C
Kalibrálási intervallum: 6,000h MTBC
Energiafelhasználás: 18W @ 24VDC
Ellenőrizze az alábbi népszerű termékeket további információkért a Nex-Auto Technology. oldalon.
| Modell | Cím | link |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Fordulatszámmérő modul | Tudj meg többet |
| 3500/40-01-02 | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40-01-CN | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40-01-01 | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40M-01-00 | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40-01-00 | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40-03-00 | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40-03-02 | Proximitor Monitor | Tudj meg többet |
| 3500/40 125808-01 | I/O modul | Tudj meg többet |
| 330930-045-02-00 | Szabványos hosszabbító kábel | Tudj meg többet |
| 330930-045-02-05 | NSV hosszabbító kábel | Tudj meg többet |
| 330930-045-03-00 | Hosszabbító kábel | Tudj meg többet |
| 330930-045-03-05 | NSV hosszabbító kábel | Tudj meg többet |
| 330930-045-00-00 | Szabványos hosszabbító kábel | Tudj meg többet |
| 330730-040-02-05 | Hosszabbító kábel | Tudj meg többet |
