AI басқаратын газды басқару жартылай өткізгіштер өндірісінде төңкеріс жасайды
Газды талдаудың озық жүйелері енді 150 мс жауап беру уақытымен 0,01 ppm сезімталдыққа қол жеткізеді, бұл атом қабатын тұндыру кезінде процесті нақты уақытта реттеуге мүмкіндік береді.
Негізгі технологияның артықшылықтары
Болжалды аналитика
Машиналық оқыту үлгілері 94% дәлдікпен газ тазалығы трендтерін болжау үшін сағатына 2,4 ТБ сенсор деректерін өңдейді.
Көп газды бақылау
18 газ түрін бір мезгілде талдау, соның ішінде NH₃, SiH₄ және WF₆ кросс-интерференциясы <0,8%.
Өндіріске әсер ету көрсеткіштері
42% эпитаксиалды өсу ақауларының төмендеуі
57% жылдамырақ газды ауыстыру циклдары
0.12s аномалияны анықтау кідірісі
99.98% масса ағынының реттегішінің тұрақтылығы
Implementation Case Studi
3D NAND өндірісі
Қол жеткізілді 28% нақты уақыттағы SiH₂Cl₂ концентрациясын бақылау арқылы жоғары тік стектің біркелкілігі.
EUV литографиясы
Төмендегі H₂O деңгейлері сақталды 0.5ppb фоторезисті өңдеу кезінде қабаттасу қателерін азайтады 19%.
Техникалық сипаттамалар
Қысым диапазоны: 10⁻⁶ ~ 760 Тор
Температураға төзімділік: -70°C ~ 450°C
Калибрлеу аралығы: 6000 сағ MTBC
Қуатты тұтыну: 18W @ 24VDC
Nex-Auto Technology туралы қосымша ақпарат алу үшін төмендегі танымал элементтерді тексеріңіз.
| Үлгі | Тақырып | Сілтеме |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Тахометр модулі | Көбірек білу үшін |
| 3500/40-01-02 | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40-01-CN | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40-01-01 | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40М-01-00 | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40-01-00 | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40-03-00 | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40-03-02 | Проксиматор мониторы | Көбірек білу үшін |
| 3500/40 125808-01 | I/O модулі | Көбірек білу үшін |
| 330930-045-02-00 | Стандартты ұзартқыш кабель | Көбірек білу үшін |
| 330930-045-02-05 | NSV ұзартқыш кабелі | Көбірек білу үшін |
| 330930-045-03-00 | Ұзартқыш кабель | Көбірек білу үшін |
| 330930-045-03-05 | NSV ұзартқыш кабелі | Көбірек білу үшін |
| 330930-045-00-00 | Стандартты ұзартқыш кабель | Көбірек білу үшін |
| 330730-040-02-05 | Ұзартқыш кабель | Көбірек білу үшін |
