Революция в контрола на газовете, задвижвана от ИИ, променя производството на полупроводници
Модерните системи за газов анализ вече постигат 0.01ppm чувствителност с 150ms време за реакция, което позволява корекции в реално време по време на атомнослойно отлагане.
Основни технологични предимства
Предиктивна аналитика
Моделите за машинно обучение обработват 2.4TB/час сензорни данни, за да прогнозират тенденциите в чистотата на газа с 94% точност.
Многогазов мониторинг
Симултанен анализ на 18 газови вида, включително NH₃, SiH₄ и WF₆ с кръстосана интерференция <0.8%.
Метрики за въздействие върху производството
42% намаляване на дефектите при епитаксиален растеж
57% по-бързи цикли на превключване на газове
0.12s забавяне при откриване на аномалии
99.98% стабилност на масовия поток
Примери за внедряване
Производство на 3D NAND
Постигнато 28% по-висока еднородност на вертикалния слой чрез контрол в реално време на концентрацията на SiH₂Cl₂.
EUV литография
Поддържани нива на H₂O под 0.5ppb по време на обработка на фоторезист, намалявайки грешките при наслагване с 19%.
Технически спецификации
Диапазон на налягането: 10⁻⁶ ~ 760 Тор
Толеранс на температурата: -70°C ~ 450°C
Интервал на калибриране: 6,000ч MTBC
Консумация на енергия: 18W @ 24VDC
Проверете по-долу популярните артикули за повече информация в Nex-Auto Technology.
| Модел | Заглавие | Връзка |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Тахометър Модул | Научете повече |
| 3500/40-01-02 | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40-01-CN | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40-01-01 | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40M-01-00 | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40-01-00 | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40-03-00 | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40-03-02 | Проксимитор Монитор | Научете повече |
| 3500/40 125808-01 | I/O Модул | Научете повече |
| 330930-045-02-00 | Стандартен удължителен кабел | Научете повече |
| 330930-045-02-05 | NSV удължителен кабел | Научете повече |
| 330930-045-03-00 | Удължителен кабел | Научете повече |
| 330930-045-03-05 | NSV удължителен кабел | Научете повече |
| 330930-045-00-00 | Стандартен удължителен кабел | Научете повече |
| 330730-040-02-05 | Удължителен кабел | Научете повече |
