Η Επανάσταση στον Έλεγχο Αερίων με Τεχνητή Νοημοσύνη Μεταμορφώνει την Κατασκευή Ημιαγωγών
Τα προηγμένα συστήματα ανάλυσης αερίων επιτυγχάνουν τώρα ευαισθησία 0.01ppm με χρόνο απόκρισης 150ms, επιτρέποντας ρυθμίσεις διαδικασίας σε πραγματικό χρόνο κατά την απόθεση ατομικών στρωμάτων.
Κύρια Πλεονεκτήματα Τεχνολογίας
Προγνωστική Ανάλυση
Τα μοντέλα μηχανικής μάθησης επεξεργάζονται δεδομένα αισθητήρων 2.4TB/ώρα για να προβλέψουν τις τάσεις καθαρότητας αερίου με 94% ακρίβεια.
Παρακολούθηση πολλαπλών αερίων
Ταυτόχρονη ανάλυση 18 ειδών αερίων συμπεριλαμβανομένων NH₃, SiH₄, και WF₆ με διασταυρούμενη παρεμβολή <0.8%.
Μετρικές επιπτώσεων παραγωγής
42% μείωση ελαττωμάτων επιφανειακής ανάπτυξης
57% ταχύτεροι κύκλοι εναλλαγής αερίων
0.12s καθυστέρηση ανίχνευσης ανωμαλιών
99.98% σταθερότητα ρυθμιστή ροής μάζας
Μελέτες περιπτώσεων υλοποίησης
Παραγωγή 3D NAND
Επιτεύχθηκε 28% υψηλότερη ομοιομορφία κάθετης στοίβας μέσω ελέγχου συγκέντρωσης SiH₂Cl₂ σε πραγματικό χρόνο.
EUV Λιθογραφία
Διατηρήθηκαν επίπεδα H₂O κάτω από 0.5ppb κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας φωτοαντίστασης, μειώνοντας τα σφάλματα επικάλυψης κατά 19%.
Τεχνικές Προδιαγραφές
Εύρος πίεσης: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Ανοχή θερμοκρασίας: -70°C ~ 450°C
Διάστημα βαθμονόμησης: 6,000h MTBC
Κατανάλωση ισχύος: 18W @ 24VDC
Ελέγξτε παρακάτω δημοφιλή είδη για περισσότερες πληροφορίες στο Nex-Auto Technology.
| Μοντέλο | Τίτλος | Σύνδεσμος |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Ταχόμετρο Μονάδα | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40-01-02 | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40-01-CN | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40-01-01 | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40M-01-00 | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40-01-00 | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40-03-00 | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40-03-02 | Προξιμιτορικός Παρατηρητής | Μάθετε περισσότερα |
| 3500/40 125808-01 | Μονάδα I/O | Μάθετε περισσότερα |
| 330930-045-02-00 | Τυπικό Καλώδιο Επέκτασης | Μάθετε περισσότερα |
| 330930-045-02-05 | Καλώδιο επέκτασης NSV | Μάθετε περισσότερα |
| 330930-045-03-00 | Καλώδιο Επέκτασης | Μάθετε περισσότερα |
| 330930-045-03-05 | Καλώδιο επέκτασης NSV | Μάθετε περισσότερα |
| 330930-045-00-00 | Τυπικό Καλώδιο Επέκτασης | Μάθετε περισσότερα |
| 330730-040-02-05 | Καλώδιο Επέκτασης | Μάθετε περισσότερα |
