Revolucija u kontroli plinova vođena umjetnom inteligencijom mijenja proizvodnju poluvodiča
Najmoderniji sustavi za analizu plinova sada postižu 0.01ppm osjetljivost s 150ms vremenom odziva, omogućujući prilagodbe procesa u stvarnom vremenu tijekom atomske slojne depozicije.
Ključne prednosti tehnologije
Prediktivna analitika
Modeli strojnog učenja obrađuju 2.4TB/sat podataka senzora za predviđanje trendova čistoće plina s 94% točnosti.
Višegasno praćenje
Istovremena analiza 18 plinskih vrsta uključujući NH₃, SiH₄ i WF₆ s međusobnim smetnjama <0.8%.
Metrike utjecaja proizvodnje
42% smanjenje defekata epitaksijalnog rasta
57% brži ciklusi prebacivanja plina
0.12s kašnjenje u otkrivanju anomalija
99.98% stabilnost regulatora masenog protoka
Studije slučajeva implementacije
3D NAND proizvodnja
Postignuto 28% veća uniformnost vertikalnog sloja kroz kontrolu koncentracije SiH₂Cl₂ u stvarnom vremenu.
EUV litografija
Održavane razine H₂O ispod 0.5ppb tijekom obrade fotootpornika, smanjujući pogreške preklapanja za 19%.
Tehničke specifikacije
Raspon tlaka: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Temperaturna tolerancija: -70°C ~ 450°C
Interval kalibracije: 6,000h MTBC
Potrošnja energije: 18W @ 24VDC
Provjerite u nastavku popularne stavke za više informacija u Nex-Auto Technology.
| Model | Naslov | Poveznica |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Modul tahometra | Saznajte više |
| 3500/40-01-02 | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40-01-CN | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40-01-01 | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40M-01-00 | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40-01-00 | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40-03-00 | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40-03-02 | Proksimitor monitor | Saznajte više |
| 3500/40 125808-01 | I/O Modul | Saznajte više |
| 330930-045-02-00 | Standardni produžni kabel | Saznajte više |
| 330930-045-02-05 | NSV produžni kabel | Saznajte više |
| 330930-045-03-00 | Produžni kabel | Saznajte više |
| 330930-045-03-05 | NSV produžni kabel | Saznajte više |
| 330930-045-00-00 | Standardni produžni kabel | Saznajte više |
| 330730-040-02-05 | Produžni kabel | Saznajte više |
