Merevolusi Manufaktur Semikonduktor dengan Analitik Gas Berbasis AI
Revolusi Kontrol Gas Berbasis AI dalam Manufaktur Semikonduktor
Sistem analisis gas mutakhir kini mencapai sensitivitas 0.01ppm dengan waktu respons 150ms, memungkinkan penyesuaian proses secara real-time selama deposisi lapisan atom.
Keunggulan Teknologi Inti
Analitik Prediktif
Model pembelajaran mesin memproses data sensor 2.4TB/jam untuk memprediksi tren kemurnian gas dengan 94% akurasi.
Pemantauan Multi-Gas
Analisis simultan 18 spesies gas termasuk NH₃, SiH₄, dan WF₆ dengan interferensi silang <0,8%.
Metrik Dampak Produksi
42% pengurangan cacat pertumbuhan epitaksial
57% siklus pergantian gas yang lebih cepat
0.12s latensi deteksi anomali
99.98% stabilitas pengontrol aliran massa
Studi Kasus Implementasi
Produksi 3D NAND
Mencapai 28% keseragaman tumpukan vertikal yang lebih tinggi melalui kontrol konsentrasi SiH₂Cl₂ secara real-time.
Litografi EUV
Menjaga kadar H₂O di bawah 0.5ppb selama pemrosesan photoresist, mengurangi kesalahan overlay sebesar 19%.
Spesifikasi Teknis
Rentang tekanan: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Toleransi suhu: -70°C ~ 450°C
Interval kalibrasi: 6.000h MTBC
Konsumsi daya: 18W @ 24VDC
Periksa item populer di bawah untuk informasi lebih lanjut di Nex-Auto Technology.
| Model | Judul | Tautan |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Modul Tachometer | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-02 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-CN | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-01 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40M-01-00 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-00 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-03-00 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-03-02 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40 125808-01 | Modul I/O | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-02-00 | Kabel Ekstensi Standar | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-02-05 | Kabel Ekstensi NSV | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-03-00 | Kabel Perpanjangan | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-03-05 | Kabel Ekstensi NSV | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-00-00 | Kabel Ekstensi Standar | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330730-040-02-05 | Kabel Perpanjangan | Pelajari Lebih Lanjut |