Revolusi Kontrol Gas Berbasis AI dalam Manufaktur Semikonduktor
Sistem analisis gas mutakhir kini mencapai sensitivitas 0.01ppm dengan waktu respons 150ms, memungkinkan penyesuaian proses secara real-time selama deposisi lapisan atom.
Keunggulan Teknologi Inti
Analitik Prediktif
Model pembelajaran mesin memproses data sensor 2.4TB/jam untuk memprediksi tren kemurnian gas dengan 94% akurasi.
Pemantauan Multi-Gas
Analisis simultan 18 spesies gas termasuk NH₃, SiH₄, dan WF₆ dengan interferensi silang <0,8%.
Metrik Dampak Produksi
42% pengurangan cacat pertumbuhan epitaksial
57% siklus pergantian gas yang lebih cepat
0.12s latensi deteksi anomali
99.98% stabilitas pengontrol aliran massa
Studi Kasus Implementasi
Produksi 3D NAND
Mencapai 28% keseragaman tumpukan vertikal yang lebih tinggi melalui kontrol konsentrasi SiH₂Cl₂ secara real-time.
Litografi EUV
Menjaga kadar H₂O di bawah 0.5ppb selama pemrosesan photoresist, mengurangi kesalahan overlay sebesar 19%.
Spesifikasi Teknis
Rentang tekanan: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Toleransi suhu: -70°C ~ 450°C
Interval kalibrasi: 6.000h MTBC
Konsumsi daya: 18W @ 24VDC
Periksa item populer di bawah untuk informasi lebih lanjut di Nex-Auto Technology.
| Model | Judul | Tautan |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Modul Tachometer | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-02 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-CN | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-01 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40M-01-00 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-00 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-03-00 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40-03-02 | Monitor Proximitor | Pelajari Lebih Lanjut |
| 3500/40 125808-01 | Modul I/O | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-02-00 | Kabel Ekstensi Standar | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-02-05 | Kabel Ekstensi NSV | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-03-00 | Kabel Perpanjangan | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-03-05 | Kabel Ekstensi NSV | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330930-045-00-00 | Kabel Ekstensi Standar | Pelajari Lebih Lanjut |
| 330730-040-02-05 | Kabel Perpanjangan | Pelajari Lebih Lanjut |
