Revolusi Kawalan Gas Berpandukan AI dalam Pembuatan Semikonduktor
Sistem analisis gas canggih kini mencapai kepekaan 0.01ppm dengan masa tindak balas 150ms, membolehkan pelarasan proses masa nyata semasa deposisi lapisan atom.
Kelebihan Teknologi Teras
Analitik Ramalan
Model pembelajaran mesin memproses data sensor 2.4TB/jam untuk meramalkan tren ketulenan gas dengan 94% ketepatan.
Pemantauan Pelbagai Gas
Analisis serentak 18 spesies gas termasuk NH₃, SiH₄, dan WF₆ dengan gangguan silang <0.8%.
Metrik Impak Pengeluaran
42% pengurangan kecacatan pertumbuhan epitaksial
57% kitaran penukaran gas yang lebih pantas
0.12s kelewatan pengesanan anomali
99.98% kestabilan pengawal aliran jisim
Kajian Kes Pelaksanaan
Pengeluaran 3D NAND
Mencapai 28% keseragaman tumpukan menegak yang lebih tinggi melalui kawalan kepekatan SiH₂Cl₂ masa nyata.
Litografi EUV
Mengekalkan tahap H₂O di bawah 0.5ppb semasa pemprosesan photoresist, mengurangkan ralat overlay sebanyak 19%.
Spesifikasi Teknikal
Julat tekanan: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Toleransi suhu: -70°C ~ 450°C
Selang kalibrasi: 6,000j MTBC
Penggunaan kuasa: 18W @ 24VDC
Semak di bawah item popular untuk maklumat lanjut di Nex-Auto Technology.
| Model | Tajuk | Pautan |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Modul Tachometer | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-02 | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-CN | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-01 | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40M-01-00 | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40-01-00 | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40-03-00 | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40-03-02 | Pemantau Proximitor | Ketahui Lebih Lanjut |
| 3500/40 125808-01 | Modul I/O | Ketahui Lebih Lanjut |
| 330930-045-02-00 | Kabel Sambungan Standard | Ketahui Lebih Lanjut |
| 330930-045-02-05 | Kabel Sambungan NSV | Ketahui Lebih Lanjut |
| 330930-045-03-00 | Kabel Sambungan | Ketahui Lebih Lanjut |
| 330930-045-03-05 | Kabel Sambungan NSV | Ketahui Lebih Lanjut |
| 330930-045-00-00 | Kabel Sambungan Standard | Ketahui Lebih Lanjut |
| 330730-040-02-05 | Kabel Sambungan | Ketahui Lebih Lanjut |
