Controle de Gás Movido por IA Revoluciona a Fabricação de Semicondutores
Sistemas avançados de análise de gás agora alcançam sensibilidade de 0,01ppm com tempo de resposta de 150ms, permitindo ajustes em tempo real durante a deposição de camadas atômicas.
Vantagens da Tecnologia Central
Análise Preditiva
Modelos de aprendizado de máquina processam dados de sensores de 2,4TB/hora para prever tendências de pureza do gás com 94% de precisão.
Monitoramento Multi-Gás
Análise simultânea de 18 espécies gasosas incluindo NH₃, SiH₄ e WF₆ com interferência cruzada <0,8%.
Métricas de Impacto na Produção
42% redução de defeitos no crescimento epitaxial
57% ciclos de troca de gás mais rápidos
0.12s latência na detecção de anomalias
99.98% estabilidade do controlador de fluxo de massa
Estudos de Caso de Implementação
Produção 3D NAND
Alcançado 28% maior uniformidade da pilha vertical através do controle em tempo real da concentração de SiH₂Cl₂.
Litografia EUV
Níveis de H₂O mantidos abaixo de 0.5ppb durante o processamento de fotorresiste, reduzindo erros de sobreposição em 19%.
Especificações Técnicas
Faixa de pressão: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Tolerância de temperatura: -70°C ~ 450°C
Intervalo de calibração: 6.000h MTBC
Consumo de energia: 18W @ 24VDC
Confira abaixo os itens populares para mais informações em Nex-Auto Technology.
| Modelo | Título | Vincular |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Módulo de Tacômetro | Saiba Mais |
| 3500/40-01-02 | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40-01-CN | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40-01-01 | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40M-01-00 | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40-01-00 | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40-03-00 | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40-03-02 | Monitor Proximitor | Saiba Mais |
| 3500/40 125808-01 | Módulo E/S | Saiba Mais |
| 330930-045-02-00 | Cabo de Extensão Padrão | Saiba Mais |
| 330930-045-02-05 | Cabo de Extensão NSV | Saiba Mais |
| 330930-045-03-00 | Cabo de Extensão | Saiba Mais |
| 330930-045-03-05 | Cabo de Extensão NSV | Saiba Mais |
| 330930-045-00-00 | Cabo de Extensão Padrão | Saiba Mais |
| 330730-040-02-05 | Cabo de Extensão | Saiba Mais |
