Искусственный интеллект в управлении газом революционизирует производство полупроводников
Современные системы газового анализа теперь достигают чувствительности 0,01ppm с временем отклика 150мс, что позволяет вносить изменения в процесс в реальном времени во время атомно-слойного осаждения.
Преимущества основных технологий
Предиктивная аналитика
Модели машинного обучения обрабатывают 2.4 ТБ/час данных с датчиков для прогнозирования тенденций чистоты газа с 94% точностью.
Многогазовый мониторинг
Одновременный анализ 18 газовых видов, включая NH₃, SiH₄ и WF₆, с перекрестным вмешательством <0,8%.
Метрики воздействия на производство
42% снижение дефектов эпитаксиального роста
57% более быстрые циклы переключения газа
0.12s латентность обнаружения аномалий
99.98% стабильность контроллера массового потока
Кейсы по внедрению
Производство 3D NAND
Достигнуто 28% более высокая вертикальная однородность стека за счет контроля концентрации SiH₂Cl₂ в реальном времени.
EUV-литография
Поддерживались уровни H₂O ниже 0.5ppb в процессе обработки фотопозитива, уменьшая ошибки наложения на 19%.
Технические характеристики
Диапазон давления: 10⁻⁶ ~ 760 Торр
Температурная стойкость: -70°C ~ 450°C
Интервал калибровки: 6,000ч MTBC
Потребляемая мощность: 18W @ 24VDC
Проверьте популярные товары ниже для получения дополнительной информации о Nex-Auto Technology.
| Модель | Заголовок | Связь |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Модуль тахометра | Узнать больше |
| 3500/40-01-02 | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40-01-CN | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40-01-01 | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40М-01-00 | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40-01-00 | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40-03-00 | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40-03-02 | Проксимитор Монитор | Узнать больше |
| 3500/40 125808-01 | Модуль ввода-вывода | Узнать больше |
| 330930-045-02-00 | Стандартный удлинительный кабель | Узнать больше |
| 330930-045-02-05 | Удлинительный кабель NSV | Узнать больше |
| 330930-045-03-00 | Удлинитель | Узнать больше |
| 330930-045-03-05 | Удлинительный кабель NSV | Узнать больше |
| 330930-045-00-00 | Стандартный удлинительный кабель | Узнать больше |
| 330730-040-02-05 | Удлинитель | Узнать больше |
