Revolúcia v riadení plynu poháňaná AI mení výrobu polovodičov
Prevratné systémy na analýzu plynov teraz dosahujú 0,01 ppm citlivosť s 150 ms časom odozvy, čo umožňuje úpravy procesov v reálnom čase počas depozície atómových vrstiev.
Jadrové technologické výhody
Prediktívna analytika
Modely strojového učenia spracovávajú 2,4TB/hod senzorové údaje na predpovedanie trendov čistoty plynu s 94% presnosťou.
Viacplynové monitorovanie
Simultánna analýza 18 plynných druhov, vrátane NH₃, SiH₄ a WF₆ s krížovou interferenciou <0,8%.
Metódy merania dopadu výroby
42% zníženie defektov epitaxialného rastu
57% rýchlejšie cykly prepínania plynu
0.12s latencia detekcie anomálií
99.98% stabilita regulátora prietoku
Prípadové štúdie implementácie
Výroba 3D NAND
Dosiahnuté 28% vyššia vertikálna uniformita zásobníka prostredníctvom riadenia koncentrácie SiH₂Cl₂ v reálnom čase.
EUV litografia
Udržiavané hladiny H₂O pod 0.5ppb počas spracovania fotorezistu, znižovanie chýb prekrytia o 19%.
Technické špecifikácie
Rozsah tlaku: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Tolerancia teploty: -70°C ~ 450°C
Interval kalibrácie: 6 000 h MTBC
Spotreba energie: 18W @ 24VDC
Skontrolujte nižšie populárne položky pre viac informácií v Nex-Auto Technology.
| Model | Názov | odkaz |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Modul tachometra | Uč sa viac |
| 3500/40-01-02 | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40-01-CN | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40-01-01 | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40M-01-00 | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40-01-00 | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40-03-00 | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40-03-02 | Proximitorový monitor | Uč sa viac |
| 3500/40 125808-01 | I/O modul | Uč sa viac |
| 330930-045-02-00 | Štandardný predlžovací kábel | Uč sa viac |
| 330930-045-02-05 | Predlžovací kábel NSV | Uč sa viac |
| 330930-045-03-00 | Predlžovací kábel | Uč sa viac |
| 330930-045-03-05 | Predlžovací kábel NSV | Uč sa viac |
| 330930-045-00-00 | Štandardný predlžovací kábel | Uč sa viac |
| 330730-040-02-05 | Predlžovací kábel | Uč sa viac |
