Revolucija u kontroli gasa vođena veštačkom inteligencijom menja proizvodnju poluprovodnika
Najsavremeniji sistemi za analizu gasa sada postižu 0.01ppm osetljivost sa 150ms vremenom odziva, omogućavajući prilagođavanje procesa u realnom vremenu tokom atomske slojne depozicije.
Ključne prednosti tehnologije
Prediktivna analitika
Modeli mašinskog učenja obrađuju 2.4TB/sat podataka sa senzora kako bi predvideli trendove čistoće gasa sa 94% tačnosti.
Višegasno praćenje
Istovremena analiza 18 gasnih vrsta uključujući NH₃, SiH₄ i WF₆ sa međusobnim ometanjem <0.8%.
Metrike uticaja na proizvodnju
42% smanjenje defekata epitaksijalnog rasta
57% brži ciklusi prebacivanja gasa
0.12s kašnjenje u detekciji anomalija
99.98% stabilnost kontrolora protoka mase
Studije slučaja implementacije
3D NAND proizvodnja
Postignuto 28% veća uniformnost vertikalnog sloja kroz kontrolu koncentracije SiH₂Cl₂ u realnom vremenu.
EUV litografija
Održavani nivoi H₂O ispod 0.5ppb tokom obrade fotootpornika, smanjujući greške u preklapanju za 19%.
Tehničke specifikacije
Opseg pritiska: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Temperaturna tolerancija: -70°C ~ 450°C
Interval kalibracije: 6,000h MTBC
Potrošnja energije: 18W @ 24VDC
Proverite ispod popularne stavke za više informacija u Nex-Auto Technology.
| Модел | Наслов | Линк |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Modul tahometra | Saznajte više |
| 3500/40-01-02 | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40-01-CN | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40-01-01 | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40M-01-00 | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40-01-00 | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40-03-00 | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40-03-02 | Proksimitor Monitor | Saznajte više |
| 3500/40 125808-01 | I/O modul | Saznajte više |
| 330930-045-02-00 | Standard produžni kabl | Saznajte više |
| 330930-045-02-05 | NSV produžni kabl | Saznajte više |
| 330930-045-03-00 | Produžni kabl | Saznajte više |
| 330930-045-03-05 | NSV produžni kabl | Saznajte više |
| 330930-045-00-00 | Standard produžni kabl | Saznajte više |
| 330730-040-02-05 | Produžni kabl | Saznajte više |
