Yapay Zeka Destekli Gaz Kontrolü, Yarı İletken Üretimini Devrim Niteliğinde Dönüştürüyor
Son teknoloji gaz analiz sistemleri artık 0.01ppm hassasiyet ile 150ms tepki süresi elde ediyor, bu da atomik katman birikimi sırasında gerçek zamanlı süreç ayarlamalarını mümkün kılıyor.
Temel Teknoloji Avantajları
Tahmine Dayalı Analitik
Makine öğrenimi modelleri, 2.4TB/saat sensör verilerini işleyerek gaz saflığı trendlerini %94 doğruluk ile tahmin eder.
Çok Gazlı İzleme
18 gaz türünün eşzamanlı analizi, NH₃, SiH₄ ve WF₆ dahil olmak üzere, çapraz etkileşim <0.8%.
Üretim Etki Metrikleri
42% epitaksiyel büyüme kusurlarında azalma
57% daha hızlı gaz geçiş döngüleri
0.12s anomali tespiti gecikmesi
99.98% kütle akış kontrol cihazı stabilitesi
Uygulama Vaka Çalışmaları
3D NAND Üretimi
Başarıldı 28% gerçek zamanlı SiH₂Cl₂ konsantrasyon kontrolü ile daha yüksek dikey yığın birliği.
EUV Litografi
H₂O seviyelerini aşağıda tuttu 0.5ppb fotoresist işleme sırasında, örtüşme hatalarını azaltarak 19%.
Teknik özellikler
Basınç aralığı: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Sıcaklık toleransı: -70°C ~ 450°C
Kalibrasyon aralığı: 6,000s MTBC
Güç tüketimi: 18W @ 24VDC
Aşağıdaki popüler ürünlere Nex-Auto Teknolojisi hakkında daha fazla bilgi için göz atın.
| Örnek | Başlık | Bağlantı |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Takometre Modülü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40-01-02 | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40-01-CN | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40-01-01 | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40M-01-00 | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40-01-00 | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40-03-00 | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40-03-02 | Yakınlaştırıcı Monitörü | Daha fazla bilgi edin |
| 3500/40 125808-01 | G/Ç Modülü | Daha fazla bilgi edin |
| 330930-045-02-00 | Standart Uzatma Kablosu | Daha fazla bilgi edin |
| 330930-045-02-05 | NSV Uzatma Kablosu | Daha fazla bilgi edin |
| 330930-045-03-00 | Uzatma kablosu | Daha fazla bilgi edin |
| 330930-045-03-05 | NSV Uzatma Kablosu | Daha fazla bilgi edin |
| 330930-045-00-00 | Standart Uzatma Kablosu | Daha fazla bilgi edin |
| 330730-040-02-05 | Uzatma kablosu | Daha fazla bilgi edin |
