Rewolucja w kontroli gazów napędzana sztuczną inteligencją zmienia produkcję półprzewodników
Nowoczesne systemy analizy gazów osiągają teraz czułość 0,01ppm z czasem reakcji 150ms, umożliwiając dostosowania procesu w czasie rzeczywistym podczas osadzania warstw atomowych.
Główne zalety technologii
Analiza predykcyjna
Modele uczenia maszynowego przetwarzają dane z czujników o wielkości 2,4TB/godzinę, aby prognozować trendy czystości gazów z 94% dokładnością.
Monitorowanie wielu gazów
Równoczesna analiza 18 gatunków gazów, w tym NH₃, SiH₄ i WF₆, z zakłóceniami krzyżowymi <0,8%.
Metryki wpływu na produkcję
42% redukcja defektów wzrostu epitaksjalnego
57% szybsze cykle przełączania gazu
0.12s opóźnienie wykrywania anomalii
99.98% stabilność regulatora przepływu masowego
Studia przypadków wdrożenia
Produkcja 3D NAND
Osiągnięto 28% wyższa jednorodność pionowego stosu dzięki kontroli stężenia SiH₂Cl₂ w czasie rzeczywistym.
Litografia EUV
Utrzymany poziom H₂O poniżej 0.5ppb podczas przetwarzania fotorezystu, zmniejszając błędy nakładania o 19%.
Specyfikacje techniczne
Zakres ciśnienia: 10⁻⁶ ~ 760 Torr
Tolerancja temperatury: -70°C ~ 450°C
Interwał kalibracji: 6,000h MTBC
Zużycie energii: 18W @ 24VDC
Sprawdź poniżej popularne produkty, aby uzyskać więcej informacji w Nex-Auto Technology.
| Model | Tytuł | Połączenie |
|---|---|---|
| 3500/50 133388-02 | Moduł tachometru | Dowiedz się więcej |
| 3500/40-01-02 | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40-01-CN | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40-01-01 | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40M-01-00 | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40-01-00 | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40-03-00 | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40-03-02 | Monitor Proximitor | Dowiedz się więcej |
| 3500/40 125808-01 | Moduł We/Wy | Dowiedz się więcej |
| 330930-045-02-00 | Standardowy kabel przedłużający | Dowiedz się więcej |
| 330930-045-02-05 | Kabel przedłużający NSV | Dowiedz się więcej |
| 330930-045-03-00 | Przedłużacz | Dowiedz się więcej |
| 330930-045-03-05 | Kabel przedłużający NSV | Dowiedz się więcej |
| 330930-045-00-00 | Standardowy kabel przedłużający | Dowiedz się więcej |
| 330730-040-02-05 | Przedłużacz | Dowiedz się więcej |
